(제품소개) 반도체 스크러버용, 온실가스용 센서모듈, 측정기 제품 소개
이 인
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반도체 스크러버용, 냉매가스용 온실가스를 측정할 수 있는 센서 모듈과 측정기의 주요 사양을 요약하였습니다.
- 주요 측정가스 : CF4, N2O, NF3, SF6, THC외 다양한 PFCs, HFCs, CFCs 등
- 원리 : 긴 광경로, 금도금 듀얼빔 NDIR 방식 (고정확성,내구성, 장수명)
- 센서모듈 또는 측정기로 판매중
- 저농도, 고농도용 주문 가능
- 측정기는 흡입펌프, 먼지-수분필터 내장, 데이터 선택출력
(UART, RS485Modbus, A-Out (전압 or 전류)
- 단일 가스 측정, 사용자 제로 교정 기능 탑재로 현장관리 편리
- 다양한 산업 현장 적용(반도체공장, 스크러버제조사, 연구용등)
- 이엘티세서 자체 개발 기술로 한국내 생산 판매중
- 다양한 타 특수 가스 센서도 제작 공급 가능합니다.
- 문의 : sales@eltsensor.co.kr, 032-719-8055
